اثرات آب برروي رفتار و خواص سيليكون مورد استفاده در ساختار سيستم هاي الكترو مكانيكي (MEMS)
سيليكون ماده اي است كه در بيشتر سيستم هاي الكترو مكانيكي (mems) مورد استفاده قرار مي گيرد از اينرو رفتارهاي سيليكون درتماس با اب ، هوا و رطوبت در اين تحقيق مورد بررسي شده است .در قسمت اول قدرت شكست سيليكون در آب بررسي شده وبه كمك AFM و تصاوير ان در مقياس ميكروني و مقايسه ساختار SI-O-SI قبل وبعد از تماس با اب نشان دهنده ي ان است كه ساختار دچار دگرديسي شده است و در قسمت دوم رفتار ساختار پوشش SI/SIO2 در اب وهوا بررسي شده است در ابتدا با تغيير نيرو از 3-1 ميكرون و تغيير چرخه از N=1- N= 100 شكاف پوشش در هوا براي تغيير چرخه از 8- 0.07 نانو متر و براي اب تقريبأ بعد از چند چرخه در 0.25 نانو متر ثابت باقي مي ماند و نيز براي هوا از8.3 – 3.1 ميكرون و دراب 2.4 ميكرون ثابت مي ماند و همچنين همين شرايط نيز براي اكسيژن و نيتروژن خالص و هواي خشك انجام شده است كه نتايج نشان ميدهد كه در تماس با اكسيژن پوشش داراي شكاف بيشتري است و اين بدليل تشكيل پيوند SI-O-SI بهتري است كه ايجاد مي شود و در نهايت نتايج اين رفتارها ذكر شده است
2718
اثرات آب برروي رفتار و خواص سيليكون مورد استفاده در ساختار سيستم هاي الكترو مكانيكي (MEMS)
سيليكون ماده اي است كه در بيشتر سيستم هاي الكترو مكانيكي (mems) مورد استفاده قرار مي گيرد از اينرو رفتارهاي سيليكون درتماس با اب ، هوا و رطوبت در اين تحقيق مورد بررسي شده است .در قسمت اول قدرت شكست سيليكون در آب بررسي شده وبه كمك AFM و تصاوير ان در مقياس ميكروني و مقايسه ساختار SI-O-SI قبل وبعد از تماس با اب نشان دهنده ي ان است كه ساختار دچار دگرديسي شده است و در قسمت دوم رفتار ساختار پوشش SI/SIO2 در اب وهوا بررسي شده است در ابتدا با تغيير نيرو از 3-1 ميكرون و تغيير چرخه از N=1- N= 100 شكاف پوشش در هوا براي تغيير چرخه از 8- 0.07 نانو متر و براي اب تقريبأ بعد از چند چرخه در 0.25 نانو متر ثابت باقي مي ماند و نيز براي هوا از8.3 – 3.1 ميكرون و دراب 2.4 ميكرون ثابت مي ماند و همچنين همين شرايط نيز براي اكسيژن و نيتروژن خالص و هواي خشك انجام شده است كه نتايج نشان ميدهد كه در تماس با اكسيژن پوشش داراي شكاف بيشتري است و اين بدليل تشكيل پيوند SI-O-SI بهتري است كه ايجاد مي شود و در نهايت نتايج اين رفتارها ذكر شده است
2718
تميز كردن نماي ساختمان