دانلود رايگان

ساخت Cantilever ميكروسكوپ نيروي اتمي Fabrication of AFM cantilevers

در اين مقاله ، تكنولوژي ساخت Cantileverميكروسكوپ نيروي اتمي به روش Self-Sharpening nano Silicon وپيزوالكتريك پايه ALN مورد بررسي قرار گرفته است . tip هاي نانو سيليكون ، بوسيله تكنولوژي اچ تر ناهمسانگرد و مكانيزم خود تيز شو(Self Sharpening) با استفاده از ماسكهاي مخصوص 3 و 5 وجهي توليد مي گردند