انواع روش هاي ممكن سنسورهاي اندازه گيري جابه جايي فيبر نوري (FODS) مبتني برسيستم هاي ميكروالكترومكانيكي
در سال هاي اخيرحسگرهاي الكترو نوري توسعه وكاربرد زيادي پيدا كرده اند.در برخي موارد كه شرايط كاري، محدوديتهاي جدي اعمال مي كند،شرايط ايمني ايجاب مي كند كه بجاي سنسورهاي معموليفقط از سنسورهاي فيبر نوري استفاده كنيم.بر همين اساس قصد داريم سنسور اندازه گيري جابجايي فيبر نوري جديدي كه مبتني بر تكنولوژي ميكروالكترومكانيكي مي باشد را كه هم دقت اندازه گيري بالا و هم بعلت استفاده از اين تكنولوژي قابليت تغيير ابعاد وجود دارد را براي اين نوع حسگرها،مورد آناليز قرار بدهيم. تمام طراحي هاي سنسور در حد ميكرو بوده مي توان دو فيبر را در بستر سيليكوني جا سازي كرد كه براي تغييرات زاويه براي هر فيبر را روي يك ممبرين(بازو) مجزا تعريف كرد.كه براي تغيير آينه بايد آينه را رو بازو قرار داد تا بتوان تغيير مسافت را مدل سازي كرد. با طراحي اين سنسور جابجايي ميتوان با اطلاع از مكان هدف از ميزان سرعت و شتاب اطلاع داشت همانطوركه ميدانيم تغييرات مكان در زمان برابر با سرعت بوده و از تغييرات سرعت در زمان مي توان از شتاب اطلاع داشت
2741
انواع روش هاي ممكن سنسورهاي اندازه گيري جابه جايي فيبر نوري (FODS) مبتني برسيستم هاي ميكروالكترومكانيكي
در سال هاي اخيرحسگرهاي الكترو نوري توسعه وكاربرد زيادي پيدا كرده اند.در برخي موارد كه شرايط كاري، محدوديتهاي جدي اعمال مي كند،شرايط ايمني ايجاب مي كند كه بجاي سنسورهاي معموليفقط از سنسورهاي فيبر نوري استفاده كنيم.بر همين اساس قصد داريم سنسور اندازه گيري جابجايي فيبر نوري جديدي كه مبتني بر تكنولوژي ميكروالكترومكانيكي مي باشد را كه هم دقت اندازه گيري بالا و هم بعلت استفاده از اين تكنولوژي قابليت تغيير ابعاد وجود دارد را براي اين نوع حسگرها،مورد آناليز قرار بدهيم. تمام طراحي هاي سنسور در حد ميكرو بوده مي توان دو فيبر را در بستر سيليكوني جا سازي كرد كه براي تغييرات زاويه براي هر فيبر را روي يك ممبرين(بازو) مجزا تعريف كرد.كه براي تغيير آينه بايد آينه را رو بازو قرار داد تا بتوان تغيير مسافت را مدل سازي كرد. با طراحي اين سنسور جابجايي ميتوان با اطلاع از مكان هدف از ميزان سرعت و شتاب اطلاع داشت همانطوركه ميدانيم تغييرات مكان در زمان برابر با سرعت بوده و از تغييرات سرعت در زمان مي توان از شتاب اطلاع داشت
2741